[더퍼블릭 = 최태우 기자] 글로벌 반도체 기업들이 ASML사의 노광기 확보에 열을 올리고 있는 가운데, 최근 SK하이닉스와 중국 최대 파운드리 업체 SMIC까지 계약을 체결하면서 차세대 반도체 장비 두고 치열한 경쟁을 벌이고 있는 것으로 나타났다.
4일 업계에 따르면 ASML은 3일(현지시간) SMIC에 기존 반도체 제조장비를 공급하는 계약을 갱신했다.
앞서 ASML은 지난 2018년 SMIC와 2년 간 심자외선(DUV) 노광장치의 수출계약을 체결했는데 이번에 2021년 말까지 계약을 연장하는 데 합의했다고 전했다. 종전 계약규모는 12억 달러(약 1조3505억원)로 알려졌다.
앞서 미국은 중국 기업에 대해 최신 반도체 장비와 부품 등의 수출을 금지하는 제재를 시행하면서 각국이 협조했지만, 이번 SMIC와의 계약은 구형 장비에 대한 거래로 규제 대상에 해당되지 않는다.
이와 관련 ASML은 DUV에 관해 “최신 기술이 아니기 때문에 네덜란드에서 중국으로 수출하는 건 문제 없다”고 설명했다.
DUV보다 최신인 극단자외선(EUV) 노광기를 생산하는 기업은 ASML이 전 세계에서 유일하다. 이 때문에 반도체 업계에서는 ASML의 노광기 장비를 확보하기 위해 연일 치열한 경쟁을 벌이고 있다.
최근 SK하이닉스도 차세대 공정 양산 대응을 위해 오는 2025년까지 ASML로부터 4조7500억원 규모의 EUV 노광기 구매계약을 체결했다.
보통 EUV 장비 가격은 1500억~1700억원으로 추정되고 있으며, 장비 운반과 설치 등 서비스 비용까지 추가한다면 17~18대 수준의 EUV를 확보할 것으로 보인다.
EUV는 13.5나노미터(nm)의 짧은 파장으로 미세 회로를 그리는 데 사용되는 장비로, 7nm이하의 초미세공정에서 필수적으로 사용된다.
특히 SK하이닉스는 D램 생산에 EUV를 사용하는데, 일반적으로 D램 등 메모리 반도체는 웨이퍼 출하량이 시스템 메모리와는 비교가 되지 않을 정도로 크다.
하지만 ASML에서 연간 30~40대밖에 생산할 수 없기 때문에 반도체 업계에서는 반도체 수주에서 우위를 차지하기 위해 노광기 확보에 사력을 다하고 있는 상황이다.
지난해 이재용 삼성전자 부회장이 EUV 장비 확보를 위해 직접 네덜란드 ASML본사에 방문한 것도 이와 같은 이유다.
ASML로서는 삼성전자에 이어 SK하이닉스가 D램 생산에 EUV를 사용하면 서비스 비용이나 부품 공급도 늘어나게 되면서 향후 시장 확대까지 고려해볼 수 있다는 장점도 생길 것으로 예상된다.
한편 지난해 ASML 매출액은 140억 유로(18조9930억원)에 달했다. 이중 중국이 17% 수준을 차지하면서 최대 수출국이 됐으며, 대만과 한국이 뒤를 이었다.
[사진출처=ASML]
더퍼블릭 / 최태우 기자 therapy4869@daum.net
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