글로벌 반도체 장비업체인 미국 어플라이드 머티어리얼즈가 빅데이터와 인공지능(AI) 기술을 활용한 신규 반도체 검사기를 출시하면서 관심이 집중되고 있다.
어플라이드 머티어리얼즈는 20일 오전 온라인 기자간담회를 열고 빅데이터와 AI 기술을 핵심 칩 제조 기술에 적용한 공정 제어 솔루션을 선보였다.
이석우 어플라이드 상무는 “고해상도 및 고속 검사 기술을 결합한 장비로 5년의 준비 기간을 거쳤다”며 “이미지당 더 많은 데이터를 수집해 경쟁사 대비 결함 포착하는 데 투입되는 비용을 3배 줄일 수 있다”고 설명했다.
이 솔루션은 반도체 제조사가 칩 개발과 생산 체계 도달 시간을 단축하는 데 기여를 하며, 기존보다 빠르게 효과적으로 결함을 검출해 분류하는 ▲인라이트 광학 웨이퍼 검사 시스템 ▲익스트랙트 기술 ▲SEM비전 전자빔 리뷰 시스템 등이 있다.
인라이트 시스템은 고해상도·고속 검사 기술을 결합한 장비로, 공정 중에 더 많은 검사 스텝(step)을 넣을 수 있고, 수율 저하 요소를 보다 빨리 예측할 수 있다. 이에 결함을 포착하는데 사용되는 비용을 3배가량 줄일 수 있게 된다.
익스트랙트AI는 최신 광학 스캐너에서 생성되는 수백만 개의 신호와 노이즈를 구별하는 기술이다. 광학 검사 시스템에서 생성되는 빅데이터와 특정 수율 신호를 분류하는 전자빔 리뷰 시스템을 실시간으로 연결하는 솔루션이다.
SEM비전 전자빔 리뷰 시스템은 인라이트 시스템과 익스트랙트AI 기술과 연동되면서 새로운 결함을 즉시 식별하고 수율과 수익성을 향상시킬 수 있도록 지원하는 기능이다.
이 상무는 “시스템에서 얻어진 빅데이터로 수율 저하 요소를 빠르게 예측해 통계적 공정방식인 ‘라인 모니터링’을 개선할 수 있다”고 말했다.
그러면서 “이러한 시스템을 적용하면 2015년 대비 공정 단계를 48%, 비용은 56% 줄어든다”고 덧붙였다.
어플라이드 머티어리얼즈 측은 “어플라이드의 새로운 솔루션은 고객이 시간을 단축해 최대 수율을 달성하도록 지원한다”면서 “업계 최고 수준의 광학 검사 및 전자빔 리뷰 기술을 결합해 수율에 중요한 결함을 감지하고 분류함은 물론, 공정 변화를 실시간 학습하고 적응하는 인텔리전스를 갖춘 업계 유일한 솔루션을 구현했다”고 밝혔다.
더퍼블릭 / 최태우 therapy4869@daum.net