[더퍼블릭 = 최태우 기자] 글로벌 파운드리 업계에서 ‘극자외선(EUV) 노광기’를 두고 치열한 장비 쟁탈전이 벌어질 것으로 전망된다.
극자외선(EUV) 노광기는 5나노(nm)이하의 반도체 양산에 필수적이기 때문에, 각 업체들은 물량확보에 사력을 다할 것이란 분석이다.
13일 업계에 따르면 이재용 삼성전자 부회장은 반도체 장비업체 ASML의 본사 소재지인 네덜란드 에인트호번으로 출국했다.
이날은 삼성전자의 3분기 영업이익 발표일 이었으나, 이 부회장이 출국하며 관심을 받았다.
이 부회장의 갑작스러운 출국은 연간 소량 생산되는 극자외선 노광기 장비를 업계 1위인 TSMC보다 신속하게 확보하기 위한 것으로 관측됐다.
EUV 노광기는 기존 불화아르곤(ArF·193nm) 대신 EUV를 광원으로 쓰는 차세대 노광기 제품으로 5나노(nm) 이하의 미세한 회로패턴을 그릴 수 있는 유일한 장비다.
이에 향후 수년간 노광기 장비 보유여부와 수량에 따라 파운드리 업계의 순위가 결정된다는 분석도 무리는 아니다.
앞서 ASML은 2019년 EUV 노광기를 26대 독점 출하했으며, 2020년에는 최대 35대, 2021년에는 50대 출하를 목표로 하고 있다. 1대당 가격은 2000억원을 호가하는 것으로 알려졌다.
삼성전자가 업계에서 선두를 달리기 위해선 많은 EUV 노광기 도입이 필수적이다. 다만 장비가 필요한 것은 TSMC도 마찬가지다.
대만 IT 전문 매체 디지타임즈에 따르면 TSMC는 2021년까지 EUV 노광기 50대를 추가 구매할 계획이다.
TSMC는 최근까지도 EUV 노광기 구매량 증가에 힘쓰고 있으며, ASML 생산량의 약 40%를 구매하고 있는 것으로 관측됐다.
그럼에도 TSMC는 지난 3분기 역대 최고 실적을 올리며 2021년 ASML 생산 전량 구매를 목표로 하고 있다.
이처럼 ASML의 EUV 노광기를 두고 업계 1위와 2위가 장비 쟁탈전 구도가 형성됐다.
앞서 삼성전자는 2021년 ASML에서 EUV 노광기 10여대를 공급받을 것으로 알려졌다.
하지만 이 부회장의 네덜란드 방문으로 인해 ASML이 삼성전자에 대한 EUV 노광기 공급량을 늘릴 수 있을 것으로 전망된다.
업계 관계자는 “EUV 노광이 매입을 위해 이 부회장이 직접 ASML을 방문하는 만큼 업계에 중대한 영향력을 미치는 장비”라며 “삼성이 대량의 장비를 매입하게 된다면 업계 경쟁력에서 TSMC를 앞지를 수 있을 것”이라고 말했다.
[사진출처=ASML홈페이지]
더퍼블릭 / 최태우 기자 therapy4869@daum.net
더퍼블릭 / 최태우 therapy4869@daum.net